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三氯氢硅中杂质元素的检测
    ----高质量单晶硅/多晶硅产品的保证
背景介绍

单晶硅是一种良好的半导材料,其纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。主要用于制造半导体器件、太阳能电池等。在能源日益短缺的今天,太阳能的利用正成为全球共同关心的话题。相关产业,尤其是太阳能用的单晶硅/多晶硅生产更是发展势头迅猛。据估算到2010年太阳能电池用多晶硅的需求量至少在30000吨以上。此外,半导体及信息产业的蓬勃发展,也使得半导体行业对单晶硅/多晶硅的需求急剧增加。

目前,国际上单晶硅大多数是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,而多晶硅生产的主要采用了改良西门子法,将三氯氢硅还原得到多晶硅。因此,控制三氯氢硅的纯度,降低其中的杂质含量,就成为生产高纯多晶硅和单晶硅产品的关键因素之一。

三氯氢硅

三氯氢硅在常温常压下为具有刺激性恶臭,易流动、易挥发的无色透明液体。三氯氢硅在空气中极易燃烧,在-18℃以下也有着火的危险,遇明火则强烈燃烧。三氯氢硅蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气,受热时引起猛烈的爆炸,且与水将发生激烈反应。所以,对三氯氢硅检测难度极大。而三氯氢硅作为生产高纯度多晶硅和单晶硅的中间产品,其质量控制极为关键,必需使用高精度的痕量检测手段对杂质含量进行检测,以便调整生产工艺,保证产品质量。

安捷伦完整检测分析方案

提供目前进行三氯氢硅分析的国际通用方法,包括以下方面:

  • 三氯氢硅杂质检测的样品前处理过程;
  • 三氯氢硅杂质检测所需的配套设施、试剂及耗材;
  • 三氯氢硅杂质检测的干扰因素及干扰的消除;
  • 三氯氢硅杂质检测结果的评价及方法验证。
课程设置
课程目的: 了解三氯氢硅杂质检测的内容,学习掌握其检测方法。
帮助学员遵循行业规定,完成三氯氢硅杂质检测日常分析工作。
了解安捷伦仪器的特点,并根据实际工作需求选择相应的仪器配置进行检测。
适用对象: 需要控制三氯氢硅产品质量的生产企业
配备Agilent ICP-MS仪器的用户
具备元素分析基本操作技能的实验室工作人员
课程内容: 目前进行三氯氢硅分析的国际通用方法介绍;
三氯氢硅杂质检测的样品前处理过程;
三氯氢硅杂质检测所需的配套设施、试剂及耗材介绍;
三氯氢硅杂质检测的干扰因素及干扰的消除;
三氯氢硅杂质检测结果的评价及方法验证; 实际实验操作。
课程长度: 三天
课程地点: 用户现场
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